康晨希供應(yīng)LEYBOLD真空泵半導(dǎo)體行業(yè)正持續(xù)迅速的發(fā)展著,為能滿足客戶對(duì)產(chǎn)品和工藝快速不斷變化的需求,我們與客戶之間的溝通從未象今天這樣如此重要。真空設(shè)備在所有半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程中發(fā)揮著極為重要的作用,針對(duì)特殊的生產(chǎn)要求必須選擇適合的真空設(shè)備。
許多年來(lái),萊寶公司一直對(duì)于真空技術(shù)基礎(chǔ)的研究和發(fā)展大量投入,總投入已達(dá)到我們總收入的10%,這也是萊寶能提供頗具有吸引力新型真空產(chǎn)品的重要原因。
發(fā)展新技術(shù)的過(guò)程中,萊寶不僅以產(chǎn)品的實(shí)際應(yīng)用為導(dǎo)向,而且更加關(guān)注產(chǎn)品的整體質(zhì)量。所有的泵及其附件在開(kāi)發(fā)階段,必定經(jīng)過(guò)特殊的壓力與持久性測(cè)試。萊寶與萊寶所有供應(yīng)商的生產(chǎn)過(guò)程,都處于持續(xù)監(jiān)控之中,以保證任何可能出現(xiàn)的產(chǎn)品缺陷都將在早期生產(chǎn)階段被檢測(cè)并及時(shí)消除。
抽速:10立方米每小時(shí)~1400立方米每小時(shí)
極限真空度:
SV10B,SV16B,SV25B,SV40B,SV65B,SV100B極限真空度為
<0.5mbar (無(wú)氣鎮(zhèn)分壓強(qiáng))
<1.5mbar (帶氣鎮(zhèn)分壓強(qiáng))
SV200,SV300,SV500,SV630/B/BF,SV750/B,SV1200,SV1400的極限真空度為
<8×10負(fù)二次方mbar (無(wú)氣鎮(zhèn)分壓強(qiáng))
<7×10負(fù)一次方mbar (帶氣鎮(zhèn)分壓強(qiáng))
排水蒸氣能力:0.3~23公斤/小時(shí)
康晨希供應(yīng)LEYBOLD真空泵
1、*的排除水蒸氣的能力。
2、出口油霧過(guò)濾器為標(biāo)準(zhǔn)配置,真空泵油循環(huán)使用,無(wú)油煙,清潔、環(huán)保、省油。
3、可以在進(jìn)口壓力為大氣壓的情況下連續(xù)工作。
4、在低壓強(qiáng)下仍能保持高的抽速。
5、內(nèi)置自動(dòng)防返油閥。
6、SV630以下為風(fēng)冷,不需要水冷,經(jīng)濟(jì)方便。
7、低噪音,低振動(dòng)。
8、結(jié)構(gòu)緊湊,體型小,節(jié)省空間。
9、可以與各種附件配套使用,因而可以滿足各種不同應(yīng)用的需要。
主要技術(shù)參數(shù)為:
抽速?1.6m3/h?65m3/h
極限真空度?10-4mbar(無(wú)氣鎮(zhèn)分壓強(qiáng)) 2×10-3mbar(無(wú)氣鎮(zhèn)全壓強(qiáng)) 5×10-3mbar(帶氣鎮(zhèn)全壓強(qiáng)) 耐水蒸汽能力?25mbar?40mbar
歐瑞康萊寶的TRIVAC B系列雙級(jí)油封旋片泵的主要特點(diǎn)?
1、內(nèi)置油泵?對(duì)泵腔進(jìn)行強(qiáng)制潤(rùn)滑。因此可以在入口壓強(qiáng)為大氣壓的情況下連續(xù)工作。
2、內(nèi)置自動(dòng)防返油閥?可在停泵時(shí)自動(dòng)將進(jìn)氣口截止?防止返油。
3、進(jìn)氣口和排氣口有水平或垂直兩種安裝方式。
4、*的耐水蒸汽能力。
另外?歐瑞康萊寶的TRIVAC B家族中還有以下用于特殊用途的真空泵。 -
(1)專門用于汽車剎車油注入的TRIVAC D16 B-DOT。 -
(2)用于制冷行業(yè)中充注R290和R600A冷媒的防爆泵TRIVAC D168B-EX?ATEX認(rèn)證防爆泵。 -
(3)用于半導(dǎo)體行業(yè)的防腐蝕泵TRIVAC BCS系列。
上海康晨希實(shí)業(yè)發(fā)展有限公司